探針類型主要涵蓋探針的結(jié)構(gòu)、分類、材料和工作頻率等，在半導(dǎo)體測(cè)試過(guò)程中，探針作為核心部件，起著連接芯片或晶圓與測(cè)試設(shè)備并進(jìn)行信號(hào)傳輸?shù)淖饔茫x擇適合的探針類型對(duì)確保測(cè)試精度和生產(chǎn)效率至關(guān)重要，以下將介紹探針的結(jié)構(gòu)、分類、材料和工作頻率：

01:探針的結(jié)構(gòu)

探針主要由針頭、針尾、彈簧和外管四個(gè)基本部件組成，這些部件經(jīng)過(guò)精密儀器鉚壓預(yù)壓后形成，由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的體積較小，尤其是芯片，探針的尺寸通常需要達(dá)到微米級(jí)別，這使其成為一種高端精密電子元器件。

不同用途的探針外觀有所不同，但其內(nèi)部基本都采用精密的彈簧結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品表面一般進(jìn)行鍍金處理，以增強(qiáng)耐腐蝕性、電氣性能、穩(wěn)定性和耐久性。

探針的分類

常見(jiàn)的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針。

彈性探針由螺旋彈簧組成，其兩端連接在上下柱栓上，這種探針通過(guò)彈簧的彈性來(lái)降低對(duì)待測(cè)物體的壓力，適用于檢測(cè)集成電路。

懸臂探針通過(guò)橫向懸臂提供探針針部在接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品時(shí)所需的縱向位移，以避免施加過(guò)大的針壓。

垂直探針可以對(duì)應(yīng)高密度信號(hào)觸點(diǎn)的細(xì)間距排列，通過(guò)針體本身的彈性變形提供針尖接觸所需的縱向位移。

03探針的材料

- 常見(jiàn)的探針材料主要包括鈹銅、高碳鋼、黃銅、鎳銀、鈀合金、青銅等。

- 鈹銅：鈹銅通常用于生產(chǎn)針頭和接觸元件，不僅具備優(yōu)異的機(jī)械性能，還擁有高導(dǎo)電性，這使得它能夠?qū)τ|點(diǎn)位置進(jìn)行長(zhǎng)期的性能表現(xiàn)和耐用性方面的優(yōu)化。

-黃銅：黃銅適用于圓形探針頭型和加工過(guò)的針套，它具有良好的耐磨性和機(jī)械性能，同時(shí)具備高導(dǎo)電性，適合用于要求較高的電流傳輸應(yīng)用中。

-高碳鋼：高碳鋼被廣泛用于生產(chǎn)所有尖銳的探針頭型或超長(zhǎng)耐用性探針，其高硬度和鋒利度確保了探針良好的耐用性和可靠的連接性。

 - 探針根據(jù)工作頻率分為同軸探針和普通探針。

 - 同軸探針適用于對(duì)測(cè)試頻率敏感的環(huán)境，其周?chē)秀~管保護(hù)層，銅管與探針之間填充介質(zhì)材料。

- 普通探針常用于對(duì)信號(hào)衰減不敏感的環(huán)境，通常在外圍涂一層絕緣層，以防止走線交叉短路。